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鸿贺佳宝精密机械申请光刻设备的工件夹持稳固装置专利提升光刻效率与精度-买球官方网站

鸿贺佳宝精密机械申请光刻设备的工件夹持稳固装置专利提升光刻效率与精度

  • 发布时间:2025-08-14
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  金融界2025年8月14日消息,国家知识产权局信息显示,大连鸿贺佳宝精密机械有限公司申请一项名为“一种光刻设备的工件夹持稳固装置”的专利,公开号CN120469171A,申请日期为2025年06月。

  专利摘要显示,本发明提供一种光刻设备的工件夹持稳固装置,涉及半导体制造技术领域,包括:架体;所述架体上安装有两个一号板和两个二号板,两个一号板之间以及两个二号板之间均安装有两根导杆,一号板上的两根导杆以及二号板上的两根导杆上均活动有起落板;本发明通过两个一号板与二号板间的丝杠和导杆配合,由一号电动机驱动丝杠转动,使起落板沿导杆升降以精准调节工件高度;转动柱齿轮与齿槽板啮合,液压杆推动齿槽板带动工件转动实现多角度调整;活动架通过圆杆弹簧缓冲,二号电动机驱动螺纹杆使第二夹板水平滑动,与第一夹板配合夹持不同尺寸工件;驱动三号电动机和四号电动机,可实现光刻器多维度定位,提升光刻效率与精度。

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  天眼查资料显示,大连鸿贺佳宝精密机械有限公司,成立于2024年,位于大连市,是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本10万人民币。通过天眼查大数据分析,大连鸿贺佳宝精密机械有限公司专利信息1条,此外企业还拥有行政许可1个。

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