金融界2025年5月5日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“承载装置及半导体工艺腔室”的专利，公开号CN119913610A，申请日期为2023年10月 。
专利摘要显示，本发明提供一种承载装置及半导体工艺腔室，承载装置包括基座、多个承载件和多个旋转结构；基座用于设置在半导体工艺腔室内，并能够相对于半导体工艺腔室旋转；承载件用于承载晶圆，且多个承载件分别绕自身的轴线可转动地设置于基座上；多个旋转结构和多个承载件一一对应且配合设置，并分别与基座配合设置，旋转结构用于在基座的旋转作用下相对于基座旋转，以带动对应的承载件相对于基座绕自身的轴线旋转。本发明提供的承载装置及半导体工艺腔室，能够提高同一晶圆表面受到的温度场和气流场的均匀性，从而能够提高片内的外延层均匀性。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目1028次，财产线条，此外企业还拥有行政许可340个。
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